二手 HAMAI 16BF-4M-5P #9195534 待售

HAMAI 16BF-4M-5P是一种精密的晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于半导体和光学行业的高精度和高通量。这种先进的系统能够生产具有紧密尺寸公差和极光滑表面的晶片，以及高反应性离子蚀刻（RIE）均匀性和紧密的角圆性能。16BF-4M-5P由安装在底板上的垂直主轴磨床组成。主轴安装有悬架臂，可在研磨和抛光过程中进行微调速度和压力调整。主轴使用变频驱动单元供电，最高转速为20,000 RPM，可编程至1,000,000 RPM。该机使用了一个精密的刀架，该刀架持有多种磨料工具来执行不同的研磨和抛光任务，包括金刚石、碳化物和陶瓷材料。磨床由一个连续进料单元进料，该单元通过电动滚筒机在工作台上移动。HAMAI 16BF-4M-5P有一系列不同晶圆尺寸的选项，可以加工100 mm-300 mm的基材，最大厚度为15mm。研磨抛光工艺在两个独立的腔室进行，第一个腔室用于研磨，第二个腔室用于抛光。机器的总容量一次最多可达5片晶圆。此外，该机还配有水冷却器和主动振动控制装置，以确保磨削和抛光过程中的最佳温度和振动水平。16BF-4M-5P专为高吞吐量生产而设计,无需连续手动控制。相反,可以将资产设置为无人值守运行长达24小时。此外,自动化数据记录模型允许操作员实时监控研磨、研磨和抛光结果,从而能够快速识别工艺趋势、评估效率和人力需求,并快速排除可能出现的任何问题。HAMAI 16BF-4M-5P是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备，旨在满足半导体和光学行业的需求。它能够生产具有光滑表面和紧密尺寸公差的晶片,并具有出色的角圆性能,而其自动化数据记录系统可确保高吞吐量和降低人工成本。