二手 HAMAI 16BF-4M #293826023 待售

HAMAI 16BF-4M晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种先进的自动系统，用于完全处理外径小至20mm的晶圆。它设计用于在全自动环境中运行,使用直观的触摸屏和现代图形用户界面。其坚固的单元能够处理5-12个光掩模板或24-100个晶圆每次运行。16BF-4M具有广泛的特性和优点,非常适合要求苛刻的精确应用,如故障探测缺陷、晶圆变薄、晶圆背面研磨和低k电介质。其坚固耐用的结构确保了可靠的性能，并且与多种材料的兼容性，包括硅、砷化氙和铜基电介质，确保了所有操作的均匀性。HAMAI 16BF-4M有一个集成的自动预敷室，使用专有溶液从晶圆表面去除颗粒、毛刺和其他杂质。其单轴抛光台由直流伺服电动机提供动力，用于精确、可重复的操作。它还有一个内置的洗涤机，通过在过程中清洗和抛光基板，帮助确保一致的结果。该工具具有自动晶片加载资产和配方管理器的全自动功能。16BF-4M还具有精密加工部件和耐用部件,以减少停机时间并延长模型的使用寿命。它采用模块化设计,可根据不同的工艺要求轻松重新配置。它还具有内置激光传感器等安全特性，以防止晶片在装卸过程中失准。总体而言，HAMAI 16BF-4M是一种先进而坚固的晶圆研磨、研磨、抛光设备，满足各种苛刻应用的需求。其坚固的结构确保了可靠的性能,并且模块化设计允许针对不同的工艺要求轻松重新配置。它的自动化系统确保了所有操作的统一结果和更高的可靠性。