二手 HAMAI 16BF-4M #9257668 待售

HAMAI 16BF-4M（H-16）是一种晶圆研磨、研磨抛光机械设备，专为高效生产光电、半导体和其他微设备部件而设计。该系统由一个集成平台中的四个不同阶段组成，旨在提供快速高效的处理。第一阶段是研磨过程，利用金刚石研磨轮从晶圆边缘和表面精确、精确地去除极少量的材料。第二阶段是研磨过程，其中晶片暴露于合成浆料和金刚石颗粒的组合中，与抛光布配合起作用，去除磨削阶段未经管理的较细杂质。第三阶段是抛光阶段，使用毛毡基抛光垫来达到优越的表面光洁度。第四阶段是清洁阶段，利用压缩空气清除灰尘、碎屑和抛光残留物。该单元还配备了ARM-BASED CPU Controller，配有开源Linux操作机器，允许实时数据记录和过程的完全自动化。先进的晶片处理工具提供了高度精确的晶片对准,以提高质量,并且晶片到晶片的有效循环时间小于15秒。此外，H-16还配备了一个用户友好的触摸屏人机界面，用户可以轻松快速地监控过程。该H-16还配备了几个外围设备。1300mm x 400 mm双轨X-Y表允许多步定位和晶圆处理。4KW的除尘资产有助于保持清洁的工作环境,并最大限度地降低过程中产生空气中灰尘的风险。该模型在晶圆级处理室旁边提供了一个自动喷雾研磨流体分配器，用于浆料的溷合和储存，其容量为3L。该设备易于安装、维护和升级,是生产线的理想选择,维修和清洁的停机时间最短。这种晶圆研磨、研磨和抛光系统是生产微型器件的有效解决方桉，可以作为一个独立的单元或作为集成生产线的一部分。