二手 HAMAI 22BFS-4M #9273134 待售

ID: 9273134
优质的: 2003
Polisher 2003 vintage.
HAMAI 22BFS-4M是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。它被设计为在亚微米范围内提供优越的晶粒尺寸一致性和更平滑的晶圆表面,并有最少的人工干预。该系统采用4轴、数控台式磨削抛光装置、精密设计的传动部件、进给磨削和抛光托盘,以达到最佳的精加工质量。其坚固的设计使其适合加工难以研磨的材料。22BFS-4M提供具有自动边缘检测功能的高精度磨削和抛光操作,以保持晶片直径不超过200 mm的一致磨削刀具接触。第4轴允许在桌面的不同位置同时处理多个晶片。该机具有广泛的研磨和抛光工具,以适应不同的应用要求。它还采用了闭环反馈工具,以确保精确控制研磨/抛光压力,以达到所需的研磨率和精加工。资产还包括辅助模块,如用于限制操作员疲劳的减振模型和用于测量磨削压力和轮廓的过程中监测系统。这样可以确保输出符合所需的度量标准。HAMAI 22BFS-4M还在设备中内置了一些流程维护功能,使其能够在无需人工干预的情况下执行维护程序和更换消耗组件。易于使用的控制面板简化了用户操作和维护。总体而言,22BFS-4M是一个先进的研磨、研磨和抛光系统,旨在以最小的工作量提供卓越的晶粒尺寸一致性和更光滑的晶圆表面。其先进的特点和稳健的设计使其适合各种工业晶圆加工应用。
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