二手 HAMAI 24BF-4 #9273210 待售
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HAMAI 24BF-4是为制造半导体器件而设计的多功能晶圆研磨研磨抛光机。它由研磨单元、研磨/抛光单元和抛光单元组成。磨削单元使用金刚石轮提供半导体晶片的均匀磨削。金刚石轮可调节以控制磨削,分别产生微细表面地表。磨削装置还具有夹具机构,旨在实现快速可靠的芯片提取。研磨/抛光装置设计为使用8-15 µm金刚石膏达到所需的表面质量。它配有振荡器,以圆形模式进行研磨和研磨运动。该装置还设有一个清洁系统,使用过滤水防止污染。抛光装置是专门为化学机械晶片抛光而设计的。这个单元可以用单个基板支架处理直径达8英寸的晶片。该机组可以高达5,000 rpm的转速旋转,并包含抛光垫和再循环水系统。该系统是为在最短时间内优化表面条件而设计的.24BF-4设计用于半导体行业的各种晶圆研磨、研磨和抛光应用。该机具备先进的安全特性和较高的自动化水平。这使用户能够以更高的精度和可重复性实现更高的生产效率水平。它是任何晶片加工应用的理想机器,坚固可靠。
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