二手 HAMAI 24BN-P #9355605 待售
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HAMAI 24BN-P晶圆研磨、研磨和抛光设备是专门为满足半导体器件制造商最严格的要求而设计的。该系统提供了广泛的工作尺寸（最大7英寸）,以及广泛的研磨和抛光速度,使高端晶圆处理具有卓越的表面处理质量。它拥有内置的5轴控制单元和高精度空气轴承，在磨削、研磨和抛光等各种操作中实现极其精确的控制。HAMAI 24BN P机配备了强大的直流电机驱动单元，能够产生广泛的研磨速度，从而实现不同的边缘和表面平整度。速度控制通过SPI接口完成，可以达到高达6,000 rpm的速度。该工具还具有专有的高精度空气轴承主轴资产，可实现晶圆边缘的高精度和扭转刚性磨削。此外，24BN-P模型还利用了广泛的研磨和抛光消耗品。消耗品有液体和糊状两种形式，可以根据具体要求量身定制。该设备还具有可调工作托架和各种倾斜驱动器，便于调整和应用所需的研磨/抛光压力。坚固的5轴控制系统可确保晶圆研磨和抛光操作的精确控制。该单元适用于种类繁多的基板，包括硅和蓝宝石基板。它还兼容各种光刻工艺、成像系统以及几乎任何类型的化学机械抛光系统。所有这些功能都集成到高质量、紧凑和用户友好的机器包中。24 BN晶圆磨削、研磨和抛光工具是半导体器件生产中高端晶圆加工的理想解决方桉。
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