二手 HOFFMAN PR-1 66T #9234491 待售
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已售出
ID: 9234491
Lappers
(5) Carriers
Part circle: 5"
Root diameter: 5.3"
Top plate:
Part number / Material
ME135 / Aluminum
ME136 / Aluminum
ME137 / Aluminum
Bottom plate:
Part number / Material
ME135 / Cast Iron
ME136 / Cast Iron
ME137 / Cast Iron
Center ring:
Part number / Size
ME135 / 5"
ME136 / 5"
ME137 / 5"
Outer ring:
Part number / Size
ME135 / 16"
ME136 / 16"
ME137 / 16"
Top plate:
Part number / Size
ME135 / 14"
ME136 / 15 1/2"
ME137 / 15 1/2".
HOFFMAN PR-1 66T是一种多功能晶片研磨、研磨和抛光设备,旨在实现晶片加工的最高精度和精度。该系统提供了各种各样的功能和功能,使用户能够完成要求最苛刻的晶圆研磨和抛光任务。该单元采用不锈钢外壳和底座,配有四个相互连接的部件--磨床、抛光站、研磨站和加工室。研磨站采用高精度主轴电机,可以将晶片研磨到50 µm或更低的厚度。此外,该站还装有微米驱动的装卸装置,以及电动重力进料机和固定橡胶垫,用于将晶片固定到位。抛光站配有高扭矩抛光电动机,能够提供稳定、低振动、低噪声的过程。该站还配备了自动清洁工具,可用于清洗和冲洗处理之间的抛光介质。研磨站包括超精密电机和转盘,以及用于调节研磨参数的自动控制,以确保精细、均匀、可控的抛光。它还包括一个集成的皮带清洗资产和泥浆模型,以减少手动研磨和清洁的需要。该工艺室配备了独特的技术,确保对工艺的精确控制和高质量的工艺结果。它是一个温度控制的环境,振动和噪声水平低。它也被密封,以便在加工过程中使用惰性气体。总之,HOFFMAN PR-1-66T是一种通用的晶圆研磨、研磨和抛光设备.它旨在为用户提供所有晶圆处理任务的最高精度和精确度。该系统由耐用的不锈钢框架和四个相互连接的组件构成,具有一系列先进的功能。所有这些组件都设计为提供稳定、低振动、低噪声的过程,可以为晶圆处理产生最精确的结果。
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