二手 HOFFMAN PR-1 #293822979 待售

HOFFMAN PR-1是一种高精度、重型的研磨和抛光设备，设计用于半导体硅、化合物和绝缘体复合（COI）晶片。该系统能够生产工业标准的研磨和抛光，如低-K （K值低于1.3 K Ω/V）、电导和先进的金刚石抛光。HOFFMAN PR1产生的电气特性和表面轮廓也相当适合光刻工艺。PR-1单元的核心是一个三阶段的过程，允许精确的控制，自动化，和均匀的研磨和抛光。该工艺由两个研磨阶段和一个抛光阶段组成，每个阶段都有不同的研磨参数，这样就可以达到所需的工艺完成等级。磨削的第一阶段涉及使用金刚石线锯或磨轮。该级用于粗磨，定义晶圆的整体形状。金刚石线锯能够产生应用程序所需的任何表面轮廓深度,从0.1毫米到1毫米。磨削的第二阶段涉及使用固定的磨轮或抛光机。此阶段用于微调表面光洁度。使用固定的磨轮或抛光机可以调节微观轮廓的不规则性、粒径和表面粗糙度，特别是在试图达到复杂的过程时。过程的最后阶段是抛光阶段。在这个阶段，晶片喷洒有硅胶或金刚石颗粒的浆液，同时以轨道模式轻轻移动。该抛光级设计为使晶片表面光滑，达到高精度的平坦度。PR1是适用于各种晶圆研磨、研磨和抛光应用的理想机器。它为用户提供了控制轮廓精度、表面粗糙度和成品晶圆电气特性的能力。该工具非常适合用于半导体晶圆制造和其他研究领域，如先进的光刻技术。