二手 IPEC 472 #9144775 待售
网址复制成功!
IPEC 472是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在实现半导体器件元件的高精度制造。该系统能够产生均匀的曲面,包括为光学级应用而设计的曲面,并且在一系列材料中具有很高的吞吐量。472使用IPEC加速器工作站构建,这是一种独特的闭环研磨和抛光技术,具有集成的闭环控制和反馈。该单元包括一个紧凑的研磨抛光机器人,它将晶圆材料样品自动移动到研磨抛光站上方。固定式磨光轮具有高扭矩定子和可针对不同材料特性和应用目标进行调节的行星底盘。数位电机驱动机控制研磨和抛光过程,以确保一致的结果。驱动器能够以可变速度运行,从而允许操作员调整特定应用程序的过程。车载计算机提供对工艺参数的实时监控和数据记录,包括研磨速度、抛光速度和车轮压力。可为每个示例运行调整进程参数和数据日志记录。该刀具与一系列晶圆材料兼容,包括硅、和砷化的材料。IPEC 472还配备了处理多种其他材料,如钻石、熔融二氧化硅、金属等。提供了一系列研磨和抛光配件,以帮助确保每个应用程序的最佳效果。472是一个可靠的自动化资产,它提供高精度的处理功能,并具有一致的结果。该模型能够实现紧密的公差和光滑、均匀的表面,使其能够在一系列半导体器件制造应用中使用。
还没有评论