二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 372M #293750181 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 372M晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种高性能、自动化的半导体晶圆精密研磨、研磨和抛光系统。该设备提供高速度、高质量和可重复性,以实现准确的处理。IPEC 372M采用多轴设计,创造出理想的磨削和抛光运动,以实现严格的公差。该运动是为标准应用程序配置的,或者可以为特殊应用程序定制。精密的空气轴承主轴提供平滑而严格的运动，并由数字控制器支撑。主轴转速可从10转到4000转。该机器包括一个晶片夹紧工具，以有效地将晶片固定在卡盘上。可以使用可选的索引机制将卡盘索引到特定位置,从而实现精确且可重复的处理。资产中使用的润滑油是水基的和环保的，以防止晶片污染。采用整体过滤模型对润滑剂进行过滤,提供精确的工艺控制.设备还提供远程监控功能,允许用户远程监控和调整流程。WESTECH 372M需要最少的清理,并且易于操作,而且培训很少。该系统还为外围设备提供了多种选择，如更高的速度操作、特殊的叶片几何形状、工业空气清洗系统以及更精细的磨料介质。SPEEDFAM 372M是晶圆研磨、研磨和抛光的可靠、高效和精确的解决方桉。它旨在满足最苛刻的晶圆加工需求，适合广泛的加工要求。372M具有高速度、精确度和重复性，是实现精确结果的理想单位。