二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 372M #9191766 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 372M是一种功能强大的晶圆研磨、研磨和抛光系统,专为高通量和精密应用而设计。它具有坚固可靠的设计，并融合了一些先进的功能，如自动金刚石梳妆台和自动过程控制系统。IPEC 372M机具有可变的主轴转速和可变的金刚石车轮旋转，可对晶圆研磨和抛光操作进行精确控制。该机可以手动或自动模式操作，并具有直观的HMI，便于设置和操作。集成的自动金刚石梳妆台能够在必要时修整磨轮。自动过程控制系统不断监测和调整系统，实现精确一致的结果。晶圆磨头的最大进料速率为2000毫米/分钟，设计用于研磨薄膜层和表面特征，具有较高的可重复性。它有一个可调的冲程限位止动，以防止层的过度或不足磨削。集成的晶圆抛光头最大抛光速率为4000毫米/分钟，非常适合边缘舍入和表面精加工。也可用于类似薄层的镜面抛光。除了晶圆研磨和抛光外，WESTECH 372M机也可用于研磨操作。它配有一个旋转台和可调节的止动块,可进行精确的圈速深度控制,以及一个机械驱动器,可实现高切割精度和可重复性。由于其坚固的设计和全面的特点，372M能够承受恶劣的生产环境，特别适合半导体制造、晶圆后磨等高精度工业操作等应用。