二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 372M #9191775 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 372M是一种晶圆研磨、研磨、抛光设备，用于许多半导体铸造厂制造晶圆光刻面膜。该系统旨在以具有成本效益的方式提供高精度。该机组配备高精度研磨机，20循环可控研磨工艺，10循环研磨工艺，8循环抛光工艺。该工具使用触摸传感器和3D软件包，通过不断监控和控制研磨区域的宽度和位置，确保研磨精度。这允许将晶片磨削到低至0.25 μ m的平均粗糙度值（Ra）和0.2 μ m的最大表面粗糙度。研磨过程能够达到3 μ m以内的平坦度进行平面化，并达到所需的表面光洁度。砂轮是一种金刚石颗粒的复合材料，具有最大的锐度和性能。该资产还设计用于最佳研磨和抛光，使其达到± 2 μ m的最大晶圆厚度均匀性。研磨抛光过程在整个过程中采用可控的晶片振荡，以确保达到均匀的光洁度。所使用的研磨液体是一种特殊的高级液体，提供最大的润滑性和性能。抛光工艺采用扁平圈和橡胶基膝垫的组合，以达到所需的光洁度。该型号连接到一台带有基于Windows的操作设备的PC上，从而便于操作和维护。该系统还配有各种传感器和电源，可以用来控制设备。该机器还提供了使用机械臂制造原型和小规模生产运行的选项。该工具是晶圆研磨、研磨和抛光应用的经济高效的解决方桉。其高精度研磨研磨能力，使得高质量、低成本的微电子器件得以成功生产。低成本和易于操作使得它成为几乎所有半导体铸造厂的绝佳选择。