二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 372M #9191777 待售

ID: 9191777
晶圆大小: 8"
STI Oxide CMP system, 8".
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 372M晶片研磨、研磨和抛光设备设计用于提供半导体晶片和其他硬质、脆性基板的高精度表面制备和成型。这个系统可以加工直径不超过8英寸的基板。IPEC 372M具有晶圆传输单元,允许在研磨、研磨和抛光过程中单次执行多个步骤。该过程在安装在机器研磨头上方的4轴台上进行。该表采用变速驱动器,可严格控制研磨、研磨和抛光速度。这些转速可从0.2转调整到350转。WESTECH 372 M的磨头由直径8英寸的旋转台组成,具有四个金刚石磨轮和四个可调节的背板。这种灵活的设计允许晶片上任意角度、斜面或平坦表面的研磨精度高达1 μ m。可调的背衬板也有利于一个可重复、精确和无污染的处理环境。372M提供各种研磨和抛光选项,以及不同工艺的多种介质选项。采用特殊的抛光轮来实现优越的表面光洁度,而创新的头部设计则确保头部的运动与桌子的运动完美同步。这既确保了过程的一致性,又减少了磨削不规范的风险。SPEEDFAM 372M晶圆研磨、研磨和抛光工具由优质部件制成,可获得最佳性能和使用寿命。该资产还提供符合人体工程学的设计,确保操作员的安全和舒适。此外,此型号完全自动化,并附有三年保修期,可让您放心。所有这些特性使IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 372M晶圆研磨、研磨和抛光设备成为满足许多精密表面制备和成形需求的理想解决方桉。
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