二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 372M #9191784 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 372M是一种多功能晶圆研磨、研磨和抛光设备，用于硅和其他复合半导体材料。该系统采用先进的微震研磨技术，在直径达12英寸的硅片上产生干净光滑的表面。该单元有3个子系统-螺旋桨、研磨机和研磨/抛光站。Prober可以测试晶片表面地形并检测异常,同时与PC和PCI-bus 19英寸机架式数据采集硬件连接。每分钟最多可运输6个晶圆，最多94个晶圆。它还拥有1/2 hp直流电机传动、配备4向手动换挡的30 "X 30"钢NEMA 12平台，以及用于晶圆快速准确处理的4轴运动控制。磨床子系统采用先进的高速、高精度磨床，在降低晶圆生产时间的同时，提高了均匀性和产品质量。这些磨床在4个轴上使用36个电动级，带有5轴至6轴CNC控制机。还拥有300 mm X 50mm X 35mm研磨平台、精密直线轴承、双轴承自动化。精度在0.1微米以内，总研磨能力为每分钟330mm。研磨/抛光站使用两个机器人子系统对晶圆进行精确研磨和抛光。它还采用温水冷却和潜水加热器和闭环流动工具，以有效冷却。研磨/抛光站有6个金刚石研磨预抛光头，一个数字控制器，以及精选的研磨和抛光膜。总抛光能力为28mm/分钟。IPEC 372M是一台最先进的机器，长期生产质量最高的半导体晶片，性能卓越。是理想的晶圆研磨抛光机，提供精密表面研磨、切割、抛光等全方位服务。该机设计为提供最高精度和可重复性，以确保生产过程中的质量和性能一致。