二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 372M #9266218 待售
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IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 372M是一种高性能晶圆研磨、研磨、抛光设备,设计用于将湿加工区和抛光区的功能结合成一个系统。该单元设计用于将晶片从硅磨削到几种不同的厚度,然后进行研磨和抛光。利用模块化组件,它可以灵活地改变机器中的晶圆尺寸。该工具由一个自动装载机组成,它精确地控制晶片加载到磨削工具中。然后使用称为主轴的机械装置来旋转和研磨晶片。磨削是由送入主轴的磨料浆实现的。浆料中的磨料颗粒然后磨损并从晶片中除去不需要的材料。研磨过程后,研磨过程如下。此步骤利用金刚石研磨板,利用再循环资产在晶圆上提供均匀受控的研磨作用。最后,抛光过程进行。这是晶片表面准备进一步处理程序如稀释、涂层等的地方。晶圆研磨、研磨和抛光模型具有多种安全特性。主轴可通过主轴旋转上的气动垫来防止意外过载或碰撞。还有一个受监控的电气设备,确保在任何时候都能保持正确的工艺参数。这样可以确保成品晶片的质量一致。IPEC 372M系统通过用户友好界面进行控制,便于控制所有研磨、研磨和抛光参数。设备还能够根据操作员的要求监控过程并制作结果。此外,该机器能够在一次操作中处理直径可达12英寸的晶圆尺寸,最高转速为40,000 rpm。总体而言,WESTECH 372M是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光工具,采用最新技术设计,为现代晶圆制造工艺提供高精度和灵活性。它是一种可靠、经济高效的方法,可以获得精密处理的高性能结果。
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