二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #25450 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种高精度的自动化组合机床，用于半导体、装饰和工业市场。该IPEC 472系统是一个工程解决方桉，结合了机器设计、运动控制和占空比自动化方面的最新技术。此单元具有独特的表格设置,通过用户友好的触摸屏界面,通过其通用的串联过程控制功能,可以处理各种部件。该机由三个主要部件组成：型材导轨、砂轮和研磨/抛光板。Profile Rail设计用于一次最多三个晶片,可根据每个晶片的长度、宽度和厚度进行调整。磨轮由强大的交流电动机提供动力，能够在广泛的速度范围内实现恒定的精度。它还配备了一个自备的除尘机，用于防止晶圆断裂。研磨/抛光板的设计易于调节,适用于多个晶圆尺寸和厚度。它还配备了一个超精确的修整阀，用于对研磨/抛光过程进行精确、可重复的控制。WESTECH 472集成了闭环前置加载自动化工具,能够通过自动回推和重新包装阶段处理多部分批次。它还能够去壳和剖面晶片，去除研磨毛刺和膝盖或抛光晶片的表面。该机的研磨精度小于1 um，研磨/抛光精度小于0.3 um，具有延长长度和最小热漂移的亚微米线性精度。SPEEDFAM 472也可以采用广泛的可变夹具进行改装，允许用户修改机器以适应他们的具体要求。此外,该机器还配备了隔振功能,可实现超平滑操作,从而实现高生产率,并对正在加工的零件产生最小的振动影响。472为操作员提供了一个处理敏感晶片的高度精确、高度可配置和安全的平台，能够在一组可调参数内实现高度精度和可重复性。它还能够通过持续提高产量和最大限度地减少停机时间来节省大量成本。