二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9028335 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472是一种多功能晶圆研磨、研磨和抛光设备，广泛应用于半导体工业。该系统旨在支持12或15英寸晶圆当量的所有工艺,适用于低批量和大批量生产。该单元配备了7轴可编程控制和力反馈机，以确保一致的研磨压力。IPEC 472配备了广泛的研磨轮和金刚石研磨盘，允许晶圆精细研磨到纳米精度。其符合人体工程学和直观的设计使得在研磨和研磨过程之间快速切换成为可能，而无需用户干预。该工具采用高性能浆料资产设计，用于抛光柔软和细腻的材料，以及用于关键沉积和清洁基材，从而创造出最佳的光洁度。WESTECH 472适用于多种材料，如硅、III-V化合物、SiGe、InP和GaAs，以及一些铁磁材料。该模型还具有加工晶片载体以及开孔和闭孔抛光的能力。472是实现精确、高质量、均匀的表面光洁度和最小停机时间的强大工具。其集成的诊断设备和警报功能使用户能够快速发现和发现任何可能延迟该过程的问题。此外,它的模块化设计使得未来的升级、维护和扩展变得非常容易。简而言之，SPEEDFAM 472是半导体行业可靠、精确、通用的晶圆研磨、研磨和抛光系统。