二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9135545 待售
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ID: 9135545
晶圆大小: 8"
CMP Polishers, 8"
Fully automated precision polishing
Two platens, temperature controlled
Polish head clean station
Three slurries
Down force from 0.5 – 60 psi
Platen speed 10 – 175 RPM
Wafer carrier speed 10 – 125 RPM
Down force up to 750lbs
In‐situ pad conditioner.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472是一种晶圆研磨、研磨抛光设备,设计用于半导体、光学和电子基板的超精密处理。它基于装有金刚石磨料的高速主轴的先进技术。该系统配有多轴运动控制器,可在加工过程中精确操纵晶片。IPEC 472具有安装在刚性刀架上的多达4个磨削和研磨头,能够产生极小粘合表面缺陷的超光滑表面。它的高速旋转加快了加工过程,并允许高吞吐量。主轴的转速从6,000 RPM到13,500 RPM不等。载流子可以被修改以支持包括半导体、光学或电子器件在内的多种基板。该单元自动化,并配备自动对准、自动调平、自动切削深度、可变压力和可变主轴速度等可编程功能。它有一个直观的用户界面,可以方便地设置和编程机器。该工具还具有多级晶片保护资产,在加工过程中保持抛光和研磨碎片远离基板。这样可以减少在加工过程中损坏基板的机会。WESTECH 472的X, Y线性运动分辨率降至0.00004英寸,Z轴可重复性降至+/-0.0002英寸,也非常精确。该模型的精度确保了在加工过程中转子转速控制和基板定位的一致性。472具有用户友好的基于PC的软件设备,具有图形控制和图形反馈,可提供有关加工操作的数据。该软件提供了自定义选项以及用于加工参数控制的有效系统。总体而言,SPEEDFAM 472是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光装置,旨在提高半导体、光学和电子基板的表面完整性和精度。这台机器具有卓越的性能、精确度和灵活性,适用于各种制造应用。
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