二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9158019 待售

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ID: 9158019
CMP Polisher.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472是一种最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于大规模生产具有高精度表面粗糙度要求的晶圆。该系统包括一个单主轴高速研磨机,可达到44,882 RPM,可精确去除多余的材料并将其研磨到精确的深度。随后是研磨阶段,使用金刚石磨盘对表面进行平滑和平整,达到远低于1微米的平坦度值。最后进行抛光阶段,利用悬浮在矿物油中的抛光剂获得高反射性表面。该单元的优点是能够将晶片的大小和形状保持在正负千分之一英寸以内。该机器效率高,能够以高达3,000 RPM的速度处理直径达562毫米的晶片。此外,它具有极好的重复性,工作范围为+/-1.5微米的平坦度。此外,由于其多轴应用,该工具能够满足许多行业的需求。IPEC 472是一种高度可靠和坚固的机器。许多使用的组件的使用寿命超过5,000小时。此外,该资产的设计考虑到了安全性;使用手动和自动安全百叶窗,限制进入研磨区域,并提醒操作员注意任何危险情况。该模型的高级编程功能使得为用户特定的进程设置和定制变得容易。此外,它还具有与各种机器以及自动化系统集成的能力。总之,WESTECH 472是一种高度先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,能够以最少的时间和材料浪费大规模生产晶圆。该系统具有极好的可重复性、安全标准和耐用性,非常适合要求高度精确表面处理的行业。
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