二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9203957 待售

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ID: 9203957
CMP Wafer polisher system.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472晶圆研磨、研磨和抛光设备是生产先进基材的通用工具。通过模块化设计,可以定制此机器以满足广泛的工艺要求。IPEC 472具有高精度和可调的工作台、强大的研磨/研磨/抛光主轴、精确的空气轴承、用于控制运动的对称和刚性支撑以及自动调整高度的功率控制进给速率。WESTECH 472中的主轴由高速无刷直流电动机提供动力。它旨在最大程度地减少颤抖和振动,并以一致的扭矩实现更高的速度。直线轴承极为精确,使机器达到了很高的精度水平。主轴两侧由空气轴承支撑,为主轴提供精确定位。472使用先进的可编程逻辑控制器(PLC)来控制自动进给速率和高度调整系统。这使得机器可以创造性地利用多个轴和精确的运动。此外,加热器控制的固化炉用于在研磨、研磨或抛光之前将基材热粘合到工件上。SPEEDFAM 472还利用最先进的冷却介质来研磨和抛光晶圆。它配备了单轴介质运输装置,将介质转移到各种磨料条件或金刚石研磨。IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472能够为各种工艺提供正确的功率,有效地减少振动,并在抛光时保持均匀的压力。为了保证IPEC 472晶圆研磨、研磨和抛光机的可靠运行,必须对该机进行维护。在日常使用后,应彻底清洗和检查所有部件的损坏和不当使用的证据。此外,还需要定期维护,以确保机器以最高效率运行。适当的润滑和更换磨损部件和主轴轴承可最大限度地减少机器停机时间,并进一步延长其使用寿命。最后,WESTECH 472晶片研磨、研磨和抛光工具是一种制造先进基材的高性能机器。它具有强大的主轴、先进的PLC控制和高效的介质传输等功能,旨在满足要求最苛刻的流程的需求。有了适当的维护,472可以与可靠的结果一致地运行。
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