二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9210304 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，旨在满足半导体行业的需求。该系统是为高精度、高生产率和低拥有成本而构建的。它包括一个自动晶圆更换器，CCD表面轮廓测量和多个主轴磨削/抛光头，以减少循环时间和最大的单位性能。IPEC 472由一个包含三个加工站的单一外壳和一个机器控制单元组成。该站包括研磨/抛光站、研磨站和可选的附加加工站或检测站。磨削/抛光站最多可容纳八个加工头,并利用CCD自动表面分析工具监控和调整磨削/抛光过程以获得最佳性能。将金刚石分配资产与研磨/抛光站集成在一起，以便快速准确地应用金刚石，而不需要操作员干预该过程。研磨站最多配备三个可调节的研磨头，用于根据应用要求实现所需的平整度、平滑度和表面轮廓。研磨站还包括一个粒径和振动分离器，用于快速有效地分离金刚石浆粒。可选择的附加站或检测站配有显微镜，用于目视检查能力，并配有激光干涉仪，用于精确的非接触式测量和反馈过程中的结果和/或过程的在线控制。WESTECH 472包含各种功能,以帮助确保最大的模型吞吐量和质量结果。专有的过程控制体系结构提供精确的过程控制,包括主轴速度、压力和定时。伸缩晶片装载机允许将晶片的全自动装卸直接装入机器的送货设备。公用机柜提供清洁干燥的压缩空气和冷却水过滤系统。此外，真空过滤装置有助于维持闭环过程，以减少危险的灰尘污染和操作员接触。总体而言,SPEEDFAM 472是一种可靠且生产高效的机器,它是为晶圆研磨、研磨和抛光的最高精度、效率和产量而设计的一系列机器的一部分。该工具适用于复杂的晶圆研磨、研磨和抛光应用，是寻求高吞吐量、低拥有成本、低ppm处理的制造商的理想选择。