二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9216748 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种工业级的自动化晶圆精加工系统，专为大批量生产而设计。该机采用先进的SiemensSinumerik 802D CNC控制和60kW磨削主轴电机同时运行。这个高品质、工业级的单元能够处理小至300微米、最大直径200毫米（8英寸）的晶片。研磨、研磨和抛光工艺既精确又高效，这要归功于具有3轴旋转作用的先进精密研磨头。这头是能够单点金刚石磨削，这创造完美平坦，光滑的表面。两轴同时操作通过消除重迭并为每个轴提供转速调节来确保精确的表面生成。该机还具有抛光头和压力调节器，可在低磨削力下有效去除物料。这种压力调节器允许低接触压力实现最佳材料去除，内置的加速度计自动将压力调整到晶圆的大小，以最大限度地延长刀具寿命。集成的LSI错误检测工具监视所有传感器和执行器,以确保正常运行并最大程度地减少停机时间。包括真空和压力控制输送机资产，用于手动进料和自动晶片处理。还包括刀具更换器和刀具存储,用于增加磨削过程之间的正常运行时间。机器被封闭在密封环境中，以保护加工后的晶片免受环境污染。过滤模型包括HEPA过滤器和空气加湿器，以保持设备内部空气清洁并提供稳定的湿度水平。总体而言，IPEC 472晶片研磨、研磨和抛光系统是工业级高产量先进设备。它配备了先进的数控、机头和各种传感器，包括压力调节器、LSI误差检测器、刀具储存器、空气滤清机以及封闭的清洁环境，都使刀具成为大型晶圆精加工应用的理想之选。