二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9223925 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472晶圆研磨、研磨、抛光设备是用于微电子元件精密表面平面化的最先进的系统之一。IPEC 472专为满足研究和生产需求而设计,可提供最大的吞吐量和始终如一的高质量结果。该系统的特点包括：刚性、减振底座、低调、由交流伺服电动机驱动的悬挂式台架、高扭矩行星磨削驱动单元、带PID闭环控制的全可编程直流伺服电动机、用于快速缩小尺寸的持久氧化铝粘结研磨板以及各种基板的一系列磨料介质。本机可容纳25毫米的最大晶圆尺寸，对准精度为0.07mm，可实现高精度的快速研磨和抛光循环，从而可以高效生产高质量的元件。此外，该工具还提供出色的环保和安全功能，包括低噪声操作、灰尘提取和过滤以及火花检测。该资产可用于广泛的应用,包括金属和介电去除、透热、薄膜沉积以及高性能电气设备的光滑最终表面。WESTECH 472旨在在生产环境中提供可靠的高精度结果,提供最大吞吐量和一致的质量结果。