二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9224973 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472晶片研磨、研磨和抛光设备设计用于对多达8英寸（200毫米）晶片进行高效再喷射。这种高性能、自动化的系统是一种用于超精密研磨、研磨和抛光的可靠且可重复的解决方桉。IPEC 472提供高均匀度和高垂直能力。机器带有一个4站旋转木马，一次最多可装载4个晶圆。每个工作站包括一个独立的电动研磨/抛光头，以及两个用于研磨和切割的X/Y刀片。该机可处理III-V半导体、SiC、软金属、蓝宝石、自旋玻璃和石英等各类材料。用户可以根据工艺要求设置参数，提供准确一致的精密研磨和抛光工艺。该单元与用户友好、直观的图形用户界面（GUI）集成,具有自动配方和流程程序,提供自动停止、自动重复和自动提要紧急关闭等功能。强大的安全功能和先进的机器人技术提供了卓越的可靠性和改进的可重复性,使操作员所需的时间最小化。WESTECH 472还包括一台高共振驱动机器，能够实现高研磨速度和分辨率，同时消除使用过程中的热负荷。高效真空工具可确保有效收集晶片和研磨/抛光解决方桉,而集成的过滤设备可确保清洁的工作环境,没有空气中的污染物。SPEEDFAM 472还配有一个可调晶片架和卡盘，设计用于快速装卸多达8英寸晶片。该支架是为大型、重型晶片而设计的,并被机械地夹紧,以便牢固地固定.此外,用户还可以通过IPEC资源中心软件套件对该工具进行编程和控制。该套件提供全面的流程监控、统计流程控制工具、快速流程优化和数据管理。472晶圆研磨、研磨和抛光模型是一种优化的解决方桉,它以经济的成本以极高的精度提供最高的生产率。以其精确、准确、一致的结果，广泛应用于半导体和电子元件行业。