二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9242698 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472是一种晶圆研磨、研磨、抛光设备，设计用于半导体晶圆的高精度表面精加工。IPEC 472由300马力的电动机提供动力，具有通用驱动板，可与多种板配合使用，包括旋转研磨和研磨板，或线性研磨和抛光板。该系统有四个独立的工件，允许同时研磨、研磨和抛光多个晶片。该装置具有多种研磨模式，包括往复研磨、跳线研磨和蠕变进料研磨。往复磨削用于以固定的进料速度轻轻磨掉表面材料，以获得更高的表面光洁度精度。直接磨削模式允许磨削到指定的深度。采用蠕变进料磨削法对大零件进行大批量加工，在保证优良表面光洁度的同时，提供快速脱料。通过使用高压冷却剂机也可以实现较高的库存去除率。WESTECH 472的研磨能力通过其电子排量工具得到增强，该工具不断监测和调整圈式压板的压力，以确保最大的表面光洁度精度。该资产可用于非磁性元件的静电卡盘或磁性元件的真空卡盘。SPEEDFAM 472的最后阶段是抛光工艺，利用循环振动介质实现超光滑的饰面。振动介质由获得专利的伺服运动控制器控制,可确保多个零件的最大精度和可重复性。控制器还具有光学发射模型,它允许对晶圆进行详细检查。472是在半导体晶片上研磨、研磨、抛光高精度表面的完美解决方桉。其强大的电机、通用的研磨和研磨模式,以及精确的抛光功能,使其成为要求苛刻的应用程序的理想选择。