二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9259783 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于生产高精度、高质量的晶圆。该系统采用先进的气流设计，在处理过程中控制灰尘和空气中的微粒，并具有若干单元增强功能，以提高晶圆的完整性和可重复性。该机的主要特点是高精度旋转主轴，设计用于生产特征性极小的高质量晶片。该主轴具有极高的精度,可控制的角加速度高达100转速/秒,最大主轴转速为2000。该工具还配备了一套先进的传感器，以确保精确读取晶片的表面光洁度和形状，确保可重复性和准确性。资产有两个运输阶段，设计用于将晶片从装载站移动到研磨/研磨/抛光头。第一级利用真空提升和移动晶片，第二级利用先进的空气悬浮模型将晶片从一个站转移到另一个站。该设备消除了振动和空气湍流，导致光洁度更平滑，晶圆损坏更小。系统中还包括一个可选的冷却装置,可用于在研磨/研磨/抛光过程中保持每个工作站的温度一致。这样可以防止产生热效应,并有助于确保晶片在相同温度下得到一致处理。最后，通过提供实时数据分析、过程参数控制和过程历史管理的高级接口对机器进行控制。这确保了改进的工艺精度、重复性和可追踪性,所有这些对于高精度晶圆处理都是必不可少的。最后，IPEC 472是一种先进的晶片研磨、研磨和抛光工具，专门为生产高精度、高质量的晶片而设计。它具有独特的设计、高级功能和资产增强功能,可确保始终准确、可重复和可跟踪的过程,所有这些对于生产高精度晶片至关重要。