二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9297205 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472是最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统是为半导体晶片的精密平整研磨、研磨和抛光而研制的.它被设计为提供最快、最准确的方法来创建具有高度均匀性的超平坦晶片表面。该单元由易于配置和扩展的模块化设计组成。它具有很高的准确性和可重复性，具有广泛的研磨和抛光配置。它具有强大的研磨电机，可以以高达50,000 rpm的速度运行，允许更快的研磨时间。该机配备了强大的闭环驱动工具，可实现高度的精度和可重复性。IPEC 472有一个自动化的过程控制器，具有强大的图形用户界面，允许轻松设置和编程研磨和抛光过程。最多可储存999个食谱，运行32个研磨和抛光循环。此外，资产还包括用于某些材料和基板的研磨和抛光的集成研磨配置。该型号还配备了一个电机驱动的晶片卡盘，允许晶片的精确运动和一个独立的冷却剂/除尘设备。除尘系统消除灰尘颗粒进入工作环境，有助于保证成品的清洁和质量。为确保最高性能水平,WESTECH 472包括一个精密光学平面,用于验证应用程序的准确性,并为研磨和抛光工艺设置最佳操作设置。该单元还配有全方位配件，包括金刚石磨轮、抛光头、磨盘等。总体而言，SPEEDFAM 472是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光机，能够提供前所未有的精度和可重复性。它的模块化设计可以方便地重新配置，强大的电动机能够快速研磨和抛光循环。此外，集成的除尘工具确保了清洁和高质量的结果。