二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9384488 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472是最先进的晶圆研磨、研磨、抛光设备。该系统设计用于从多晶硅等材料的单个晶轴磨削、研磨、抛光平坦、中低克拉晶片。它可以用于从薄膜抛光到平坦、低反射率表面的各种应用。该单元可处理直径不超过12英寸的晶片,并具有能够实现低表面粗糙度的变速驱动机器。IPEC 472采用变速主轴轮和副主轴轮来实现高精度。四轴定位器允许晶片相对于主轴精确定位，以实现完整的表面处理和一致性。该工具还配备了先进的软件，用于进行可靠、可重复的数据分析和晶圆计量，从而实现了可实现的表面。该资产还利用综合排气罩确保适当的除尘和空气质量管理。它还能够监测压力水平和其他相关信息，以防止对晶片的潜在损害。而且，与手工研磨和抛光工艺相比，WESTECH 472可以实现更高水平的均匀性。它还被设计为具有成本效益，并为用户提供对工艺的更大控制，以确保达到所需的表面质量。总而言之，SPEEDFAM 472是最先进的晶圆研磨、研磨、抛光模型。它能够通过变速驱动设备精确研磨、研磨、抛光中低克拉晶片，达到高精度。此外，其集成的排气罩、压力监测系统和先进的软件确保了安全、经济高效和可重复的晶圆研磨和抛光工艺。