二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #8353 待售

IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676
ID: 8353
Orbital CMP tool With APC Upgraded to 500 MHz Pentium computer Configuration: (3) Cassette litter load / Unload station Advanced pad motion control High speed polish drive: 0 to 600 RPM Closed loop delta P control End point detection system Stainless steel polish bell (2) Pad conditioners.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676晶片研磨、研磨和抛光设备设计用于高效、高效、精确的晶片制备,用于半导体工业。该系统由集成研磨/抛光台、研磨/抛光头、可调工作台盖、浆料和润滑剂输送以及过滤系统组成。工作台和磨头由一个刚性和可调节的平台组成,允许跨各种角度、厚度和形状进行一致的物料去除控制。可调表盖为磨头和工作台提供保护,同时将温度保持在一致的范围内,并尽量减少氧化或污染的可能性。餐桌盖还用作防尘盖,防止颗粒物进入研磨/抛光区域。浆料和润滑剂的输送设计是为了优化应用于晶片的物料量,过滤系统将颗粒的损伤保持在最低限度,并确保只达到最精细的抛光表面。该装置既采用化学/机械工艺,又采用平面定向研磨/抛光操作,可在基材和应用中实现一致的材料去除速率。IPEC 676晶圆研磨、研磨抛光机是为实现高度自动化而设计的,并配有可编程参数和设置,以确保研磨/抛光操作的精度和准确性。该工具具有用户友好界面,具有安全设置和故障安全功能,可确保每次操作安全高效。各种研磨和抛光化合物也可提供最佳效果,具体取决于加工材料的类型。WESTECH 676晶片研磨、研磨和抛光资产既能处理大小晶片,又能提供一致、高质量的精加工。对于需要在各种晶圆材料上实现高度精确的光洁度和平滑度的任何人来说,这种模型都是完美的选择。该设备具有高效可靠的性能,每次都能确保完美的精加工,使其成为任何晶圆生产应用中必不可少的工具。
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