二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 825 #9399796 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 825晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种功能强大且用途广泛的晶圆加工系统,旨在生产极其精确且超光滑的表面。它是一个全自动的单元，能够研磨、研磨、抛光许多不同类型的晶片，包括硅、砷化氙和蓝宝石。该机具有多个用于预拍摄和研磨的主轴，以及一个用于高速加工的磨轮。它具有多种控制物料流动的内置特性，如水冷却剂工具和自动阻尼资产。IPEC 825能够产生非常高精度的晶圆表面,并且能够产生RMS粗糙度值低于0.1nm的表面。它非常适合用于微电子和半导体的制造，以及晶圆的稀化和平面化操作。该车型具有可调的转速控制，可以高达10,000 rpm的速度运行。它还有一个可编程周期计时器，允许用户指定任何给定进程所需的周期数。WESTECH 825的研磨室配备了晶圆夹紧设备和直列式自动调平功能。它还包括一个零间隙的水冷却剂系统，在研磨、研磨和抛光过程中保持工作表面的冷却和润滑。设备的控件和软件还包括用于精确主轴控制和速度同步的功能。825还配备了抛光台和集成金刚石复合储油机。这允许用户最多连接三个不同的抛光头，这些抛光头可以编程为同时抛光不同的晶圆尺寸。晶圆台可容纳直径最大150毫米的晶圆，并可在手动和自动模式下操作。它用途广泛，适用于包括薄膜设备、平板、MEMS设备在内的一系列应用。该工具经国际标准认证，其组件保证能够提供最高质量的结果。SPEEDFAM 825有一系列包装,适合特定的生产要求。IPEC致力于为客户提供最佳晶圆处理资产,IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 825将在性能和可靠性方面满足这一承诺。