二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Auriga #141543 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Auriga是晶圆研磨、研磨和抛光设备，作为半导体、MEMS和光电工业的一部分，设计用于精密研磨和抛光应用。其主要目的是为各种不同的应用改进元件的曲面和几何形状。IPEC Auriga采用双旋研磨/抛光工艺,采用两个独立的研磨头同时进行研磨和抛光,以提高吞吐量和易于操作。每个研磨头都有一个晶片卡盘和夹具，可以针对特定的直径和螺距进行预设，设计用于快速、精确的研磨和抛光。一个自动分配系统和两轴四速级驱动器集成到单元中。WESTECH Auriga配备了一个自动化的多轴运动控制机器，包含线性和3D/rotary扫描，提供对研磨和抛光过程的精确控制，使其能够生产高精度、低成本的光学和表面规律性零件。专利3-D扫描工具结合了高分辨率位置编码器和控制软件，以确保可重复、精确和受控的结果。此外，Auriga资产还配备了闭环压力、润滑剂和流体温度控制模型，该模型旨在提供前后一致、准确、可重复和可靠的结果。该设备还提供对研磨和抛光压力的实时反馈，以及对任何潜在线圈或卡盘损坏的监控。还包括操作员和设备保护的综合安全系统。SPEEDFAM Auriga单元设计用于高精度研磨和抛光操作，并已被证明比其他方法在一系列材料上更加准确和一致，包括陶瓷、蓝宝石、复合材料、橡胶和塑料。它在半导体、MEMS和光学工业中的使用证明了它的能力和可靠性。