二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #9092866 待售
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ID: 9092866
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
CMP system, 8"
Used for Tungsten Polish
676 Mainframe with Operator Interface Monitor
System Computers: (1) SysCon, (4) Polish Heads, (1) Endpoint, (1) C2C
ystem Software: Advantgaard 676 3.0 rev S S
Brookside Endpoint Detection System with Configurable Algorithm to Detect Endpoint
(4) Mechanical polishing heads with Advanced Pad Motion
(3) Systolic Pumps for Slurry or DI Water
High Flow DI Water Rinse Valve Configuration
Upper and Lower Pneumatics Panel
Hoist for Upper Motor and Tower Removal
(2) Pad Conditioning Systems
Cassette to Cassette Wafer Handling System
Genmark Gencobot Multi-Axis Robot with Wafer Pickup Paddle
Wet Cassette Assembly with Wafer Sensor Array
Spray Box Assembly
Electrical Cabinet with Computer Control Station
1996 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676晶圆研磨、研磨、抛光设备是制造集成电路（IC）元件的综合平台。这个最先进的系统配备了最新的自动化技术，以提供高水平的准确性和吞吐量。该机采用研磨、研磨和抛光技术相结合，使表面光滑平整，缺陷最小。IPEC Avantgaard 676包括一台精密研磨机，带有金刚石涂层研磨轮。通过磨削过程，磨掉金刚石颗粒以获得所需的表面粗糙度。为了进一步细化表面，采用研磨工艺。这包括利用特定尺寸分布的旋转磨料，以消除任何残留的缺陷。此外，该单元还采用了一种精细抛光器，该抛光器使用类似的旋转磨料材料，以恢复和增强精细表面光洁度。这台机器是为了方便用户，有一个灵活的工具搬运机和一个自定心主轴。此外,该工具还具有高性能的机械臂,可编程为多种功能,包括从模具中加载和卸载晶片,以及对研磨、研磨和抛光过程进行调整。资产还包括监测和评价进程的广泛措施。其中包括一个高级工艺监控模块，提供对工艺参数如主轴速度和压力的实时监控。此外，该模型还包括一个详细的数据记录设备，以提供对该过程的统计分析。最后,WESTECH Avantgaard 676配备了最新的安全功能,包括强大的互锁系统,可确保平台在出现异常或故障时完全关闭。该机器也是按照国际电工委员会（IEC）的安全规定建造的。总而言之，Avantgaard 676是一款强大可靠的晶圆研磨、研磨、抛光装置，旨在满足半导体行业的苛刻要求。其用户友好的设计、广泛的功能和先进的安全功能使其成为高精度IC生产的理想平台。
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