二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 776 #9092867 待售
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ID: 9092867
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
CMP system, 8"
Used for Oxide Polish
3-Cassette Input Station
Integrated 7700 Cleaning Station
Equip Robot with Wafer Sensor
(4) Mechanical polishing heads with Advanced Pad Motion
(2) Bladder Style Diamond Pad Conditioners
Slurry Flow Monitor Kit; NT Flow Meters
Slurry Delivery Pumps
17-21 Input and Output
Upgraded Gray Quick Disconnect
Jacking Towers Upgraded to Hex Head Bolts
Base Upgraded to New Style Leak Detectors
Plumbing Utilizes the Ultra Pure (Flare) Fittings
Upper and Lower Pneumatics Utilize Swage Lock Fittings in all Applicable Areas
SECS/GEM Integration
Electrical Requirements: 208V, 60Hz, 5 Phase
1997 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 776是为半导体工业设计的晶圆研磨、研磨、抛光设备。这种多用途系统用于从基板的粗糙成型和加工，到镜面精加工和预抛光。它采用快速、高效、安全的方法从硅和其他基板中去除材料，并使用高速金刚石磨料进行精密加工。该机配有两个独立控制的金刚石皮带磨头和九个金刚石研磨抛光板头。它还具有用于细粒加工的旋转研磨带,以及提供精确、均匀的研磨表面光洁度的反向运动。金刚石研磨和抛光压板头可以编程为重复任何给定的研磨、研磨和抛光操作序列。它们还包含一个反向运行的抗堵塞单元，以确保粒子不会阻塞工作表面。该机经过专门设计，为用户提供可靠的操作、优异的性能和最大的安全性。它为每个磨削和抛光头配备了一个自动安全关闭工具，以及一个防护板和雾气提取资产，以减少灰尘和冷却工作区域。而且，它采用坚固的框架结构和最新一代的电子控制，提供最大精度、可靠性和用户友好操作。IPEC Avantgaard 776在医疗技术、汽车和电子等多个行业得到普遍应用。它是精密加工硅等基材材料、快速、高效、安全地高精度去除材料的理想解决方桉。此外,该模型还提供了灵活性和最大的性能,使其成为处理和子装配专业人员的选择。
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