二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 372M #9092868 待售

IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 372M
ID: 9092868
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
CMP Polisher, 8" Cassette to cassette (2) Platens Chiller Software version: 2.011 1995 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 372M是一种精密晶圆研磨、研磨和抛光设备,专为半导体行业最苛刻的应用而设计。这种用途广泛的系统可用于加工多种材料,包括硅、蓝宝石、石英、砷化的结晶材料。该单元配备了多项高级特性和能力。它的闭环过程控制机允许精确消除系统和随机误差,从而得到更精确的精加工。该工具配备了6微米的瞬时定位资产,以确保精确的晶圆定位。IPEC Avanti 372M的设计可容纳直径不超过8英寸、厚度不超过1.2mm的晶圆。它具有一个使用多达5个磨料垫的抛光头,并且具有高吞吐量的4垫研磨头,吞吐量高达9um/hr。该模型能够控制从0,5N到800N的压力。它还具有许多分析选项,例如径向分析、中心分析、周长分析和平坦度分析。设备的独特之处在于其微步技术。这样可以在磨料垫和晶片之间实现极其精确的间距,从而获得均匀的光洁度。此功能还可确保晶片不会因施加压力不均匀而损坏。WESTECH Avanti 372M是一个可靠高效的系统,易于安装和操作。其目的是通过利用金属金刚石磨料降低晶圆制造成本。该单元还具有CCD监视器和打印预览,用于图像查看。总体而言,SPEEDFAM Avanti 372M是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光机,可以处理多种材料,包括结晶材料。它是一种高效可靠的工具,易于操作,可以提供极其精确的精加工。它能够控制从0.5N到800N的压力,并配备了复杂的性能分析选项。此外,它的微步技术确保晶片不会受到不均匀施加压力的破坏。
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