二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #293750600 待售
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ID: 293750600
优质的: 1996
Automatic wafer polisher
APP1000 Pad conditioning
Pressure (CDA): 100-80 psi (N2)
Vacuum: >-20 Hg
Compressed air peak flow: 6 SCFM (170 SLM)
Nitrogen peak flow: 10 SCFM (283 SLM)
Chilled water peak flow: 5 GPM (18.9 l/min)
DI Water:
Peak flow: 12 GPM (45.4 l/min)
Average flow: 2-5 GPM (7.57-18.9 l/min)
Power supply: 208-460 VAC, 50/60 Hz, 3-Phase
Manual
1996 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472是一种四站研磨研磨抛光机，可用于加工和精炼半导体晶片。这台机器在晶圆研磨、研磨和抛光过程中具有卓越的性能、精度和可重复性。此设备采用模块化设计,可方便地针对不同的流程需求进行配置,并提供流程之间的快速过渡。IPEC Avanti 472能够同时处理多达四个晶圆。WESTECH Avanti 472在每个站内设有两个研磨台和两个处理晶圆的抛光台。这些表设计用于低振动操作的高速操作,从而可以精确控制整个过程。该系统为每个研磨和抛光盘配备两台专用交流电动机，提供出色的正时和稳定的速度控制。可调速度选项优化了载荷和速度条件的调整。Avanti 472带有三种能够满足广泛应用要求的研磨介质。这些研磨介质包括金刚石砂砾、陶瓷砂砾和碳化硅砂砾。每种类型的砂砾都提供不同级别的抛光动作，让使用者最好的满足他们的特殊需求。此外,磨削介质可以在过程之间切换,以调整成品的值。该单元采用可编程过程控制器，提供简单、用户友好的界面。此控制器允许用户根据自己的特定需求对流程参数进行编程，并提供有关流程设置的诊断和反馈。控制器最多可以存储二十个单独的程序,以便快速轻松地回忆不同的设置。此外，该机还配备了攻角监视器以监测晶圆的研磨/抛光角度，以及研磨深度监视器以跟踪研磨过程的整体深度。最后,SPEEDFAM Avanti 472机器实现了自动化,配备了一系列传感器和装载机供无人值守操作,从而实现了卓越的工作效率、灵活性和准确性。
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