二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #293828724 待售
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ID: 293828724
优质的: 1996
Automatic wafer polisher
APP1000 Pad conditioning
Pressure (CDA): 100-80 psi (N2)
Vacuum: >-20 Hg
Compressed air peak flow: 6 SCFM (170 SLM)
Nitrogen peak flow: 10 SCFM (283 SLM)
Chilled water peak flow: 5 GPM (18.9 l/min)
DI Water:
Peak flow: 12 GPM (45.4 l/min)
Average flow: 2-5 GPM (7.57-18.9 l/min)
Power supply: 208-460 VAC, 50/60 Hz, 3-Phase
Manual
1996 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472是专门设计用于制造高精度晶片的晶片研磨、研磨和抛光设备。该系统能够生产表面极为平坦光滑的晶片,并且提供了各种各样的表面公差,而无需人工干预。IPEC Avanti 472具有精密研磨室,具有广泛的可调速度和可调滑轮比。这使得用户可以轻松改变研磨压力,从而产生高质量的结果和精确的表面饰面。此外,该单元还提供了几个研磨盘、抛光头和磨轮,使用户能够定制其工艺,并调整晶圆研磨、研磨和抛光压力,以符合所需的性能。WESTECH Avanti 472先进的电子设备保证了晶圆研磨、研磨和抛光的精确和可重复的效果。该机具有双电机驱动器,总功率输出为1.2千瓦,变速范围为0-1400 rpm。此速度范围允许轻柔高效的研磨、研磨和抛光,并有助于最小化损坏细腻表面特征的可能性。该工具还具有多种高级安全功能,例如用于控制和监控模型的互锁资产、用于保护精细晶片的冷却气流以及电涌保护电路。这些功能确保用户安全,并保护昂贵的晶片免受意外损坏。设备的人性化设计使其易于操作和监控。系统的各个方面,包括压力和温度,都可以远程监控。各种附加功能,如自动润滑和清洁,有助于进一步延长设备的使用寿命,减少出现问题的可能性。总体而言,Avanti 472晶片研磨、研磨、抛光机是生产具有一贯平整光滑表面的高品质、高精度晶片的强大可靠工具。先进的控制工具和安全功能确保每次安全运行和高质量的结果。
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