二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #60082 待售
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ID: 60082
晶圆大小: 4"-8"
Chemical Mechanical Polisher (CMP), 4"-8"
Automatic loading / Unloading
DI Water:
Peak flow: 12 GPM (45.4 l/min)
Average flow: 6 GPM (22.7 l/min)
Pressure: 25 - 30 PSI
Chilled water:
Peak flow: 5 GPM (18.9 l/min)
Compressed air:
Peak flow: 6 SCFM (170 SLM)
Nitrogen:
Peak flow: 10 SCFM (283 SLM)
Power supply: 208-380 V, 460 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472是最先进的晶圆研磨、研磨和抛光系统。472专为半导体基板而设计,提供卓越的研磨、研磨和抛光能力。472是Avanti系列的最新版本,提供晶圆研磨和抛光技术中最现代的。IPEC Avanti 472由一个可调节的双臂龙门组成,里面装有双主轴研磨、研磨和抛光系统。472配备了直径40毫米的拼盘和200毫米的桌子,提供精确的材料去除和平面化,同时保持微米精度横跨晶圆表面。可以同时使用多个盘片来增加吞吐量,而获得专利的龙门行星运动(Planetary Motion)提高了垂直分离能力,提供了卓越的品质完成。472采用模块化设计,以更快的集成和设置,并配有用于简化用户界面的触摸屏控件。综合流程质量控制使用软件进行管理,包括高级流程监控和自动诊断服务。472还配备了集成安全传感器,用于增加操作员保护。472具有许多旋转和固定的主轴。高速旋转主轴提供了最佳的速度灵活性,而编程控制的主轴提高了精度和可重复性。金刚石磨料磨盘用于实现一个非常平坦的表面,而额外的磨料系统则用于以更高的精度去除材料的薄层。还可以使用自动密封系统、环境室和各种工具,从而可以处理几乎任何材料。472具有多功能性和精确度,可满足各种晶圆研磨、研磨和抛光需求。它的模块化设计使集成和维护比以往任何时候都更简单,而且它的自动化控制确保每次都能获得可靠、高质量的结果。472是晶圆研磨、研磨和抛光技术的巅峰之作,提供业界最优质的最终产品和工艺可靠性。
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