二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9109476 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472是最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。它由一台计算机控制的旋转台组成，安装在机器的一个垂直截面上，在那里放置抛光工具。该表可以双向旋转,也可以以1°为增量旋转。抛光臂有四个夹紧臂，每个夹紧臂最多可容纳三个抛光工具，这取决于晶圆的形状和大小。具有自定心卡盘的精密研磨工具允许快速、精确地研磨薄晶片,从而实现高通量。研磨臂可同时进行手动和自动控制。它允许精确控制研磨过程，而无需操作员。抛光臂与ABM Futuristic系统集成在一起，该系统具有抛光机器人和往复式压板臂，可用于无纺锤研磨。旋转台连接到6常速电动机，使用金刚石轮进行抛光。它还配备了可用于测量晶圆表面质量的主轴头集成机视觉单元。IPEC Avanti 472还具有气动阻尼器以减少振动。它采用隔振底座设计,可最大程度地减少噪音,从而提高安全性和舒适性。该机还配备了串联表面活性剂输送，以改善清洁，减少废物产生。集成的研磨控制工具允许更精确的研磨过程。WESTECH Avanti 472还配备了两级电阻加热资产，用于研磨抛光应用的干湿材料。它还有一个冷却器，在抛光过程中通过模型循环冷却水，以减少过热的风险，提高晶片的结构完整性。此外,Avanti 472还配备了一个全封闭式机柜,该机柜配有一个带有紧急关闭功能的安全外壳,可在紧急情况下关闭电源。用户友好的触摸面板界面包含一个便于操作和监控的人机界面，以及一个数据采集设备，用于捕获与抛光和研磨过程相关的所有数据。总体而言，SPEEDFAM Avanti 472是一种先进可靠的晶圆研磨、研磨和抛光系统，旨在高效生产高精度晶圆。它在所有过程中提供可靠的性能和高度的准确性。