二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9182620 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472是为生产和实验室应用而设计的精密晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统能够将高达450毫米的晶片磨削到指定的平坦度和分辨率，同时去除低至0.5 µm的侵蚀性颗粒。该单元具有完全独立的研磨和抛光元件，允许并联研磨和抛光操作。高分辨率的直线传动和数字伺服控制使磨削精度和可重复性更高。磨削工具以30 rpm至360 rpm的速度驱动，峰值力为700 N/cm2，总力为14kN。IPEC Avanti 472具有用于研磨元件的四轴线性传动机和用于研磨/抛光元件的单独线性传动工具。驱动器资产为这两个组件提供了异常平滑和可靠的运动。研磨元件可在x、y、z方向移动，可编程分辨率为1 µm，可重复性为1 μ m。研磨/抛光元件可沿x和y方向移动,分辨率为0.001 μ m,可重复性为0.1 μ m。研磨/抛光组件使用一对静水轴承组件来精确移动板材,最大程度地减少偏转,同时提供更好的热性能。平板由强大的伺服模型提供动力，能够施加高达30 kN的力。板材可与多种悬挂系统搭配使用，包括单面、双面和溷合。WESTECH Avanti 472利用现代多媒体PC与触摸屏界面，为用户提供易于使用的图形用户界面，用于编程和控制设备。该系统还包括高级数据采集和可视化工具，允许用户实时监控和分析过程。单位最多可储存25个食谱，包括每个最多50个参数。总体而言，Avanti 472是一款先进的精密晶圆研磨、研磨和抛光机，旨在产生完美无瑕的效果。该工具包括许多冗余功能,可实现优化的性能和可重复的精度。该资产以基于PC的高级软件为后盾,可轻松调整设置以及实时过程监控和分析。