二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9188602 待售

IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472
ID: 9188602
晶圆大小: 8"
优质的: 2003
CMP polisher, 8" 2003 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472是一种精密晶圆研磨、研磨和抛光设备。它是专门为满足生产应用的具体需求而设计的,能够生产极高质量的蚀刻和平面化晶片。IPEC Avanti 472配备了四种不同的研磨操作,在涉及到各种晶圆加工需求时提供了巨大的多功能性。磨料浆循环通过单元提供必要的研磨和抛光作用。磨料颗粒的大小从30微米到5微米不等,导致成品晶片上的光洁度非常精确且均匀。WESTECH Avanti 472系统能够对单面和双面表面进行研磨。除晶片外,该单元还可用于磨削、研磨和抛光小部件,如基板和模具。这种多功能性确保了处理大量晶片的最大效率。抛光过程分两个阶段实现。首先,使用氧化硅悬浮液在晶片上提供更加一致和均匀的光洁度。然后利用先进的碳化钨或金刚石磨料悬浮液进行抛光。这一步骤产生了一个非常明亮且无缺陷的晶片表面。除抛光工艺外,Avanti 472还可用于清洁、蚀刻、薄膜沉积。该机器的设计目的是通过机载化学过滤和化学溷合系统防止相邻部件或晶片的意外污染。SPEEDFAM Avanti 472可以单独使用,也可以与其他生产工艺集成,以最大限度地提高产量。它能够处理尺寸达300毫米的晶片,并且设计满足最苛刻的生产要求。总体而言,IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472是一种用途广泛且可靠的工具,可提供精确的晶圆研磨、研磨和抛光。它为晶片提供了均匀且无缺陷的光洁度,使其成为精密生产应用的理想选择。
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