二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9220761 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种高度先进的半导体和集成电路制造系统。它是专门为晶圆研磨和抛光在晶圆水平的基材而设计的。该装置能够研磨和抛光单个和多个大晶片，直径可达8英寸，厚度可达5毫米。它采用专利磨料和抛光技术，包括湿、干和激光蚀刻。阿凡提的主单元由两个独立的同步行进主轴和一个液压驱动机组成。纺锤可以同时磨削和抛光多个晶片。主轴通过伺服驱动的刀具分别控制基板的进料和旋转速度。磨削和抛光适配器可从机柜底座上拆下,可根据需要更换为其他抛光头。Avanti有三个不同的工区：研磨区、抛光区和清洁区。在研磨区，晶片从大粒度磨料颗粒开始，然后随着晶粒沿着轴线向下移动而减小粒度。抛光区采用各种抛光技术，如金刚石、CMP和添加剂。清洁区是资产的最后一个区域，利用纯净水清除工艺碎片。该型号还配备了几个过程控制选项。过程控制包括对主轴速度进行编程、自动压力控制、自动流体优化等能力。它还设有冷却剂监测设备，用于监测操作中使用的冷却剂的流量和压力。此外，系统还有一个专用的温度控制单元，其设计目的是减少主轴产生的热量。IPEC Avanti 472机体积小巧，使用方便。设计该工具的目的是提供可靠性和准确性。它也是高度可定制的,因此用户可以根据特定的流程要求定制操作。由于其耐用性、安全性和灵活性,WESTECH Avanti 472晶圆研磨、研磨和抛光资产是任何半导体或集成电路制造工艺的理想选择。