二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9259193 待售

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472是一种晶圆研磨、研磨抛光设备，设计用于半导体晶圆的制造应用。该系统可实现非常均匀的表面光洁度,且最多具有较小的碟面和侧壁平整度。该单元还可以支持各种基材和材料进行加工操作。该机由三个主要部件组成：静电卡盘、抛光台和电动旋转台。静电卡盘具有两步加热温度，可调节以容纳直径达8英寸的基板。抛光台由涂层、耐腐蚀铝制成，具有最大转速和精加工质量的可调速度控制。最后,电动旋转表允许处理和保存多达16英寸的晶片。该表还具有可变的研磨和抛光速度,可提供比手动操作更一致的优化和结果。此外，该工具还可以安装一些附件，如温度控制器、真空卡盘、力量计和定时资产。温度控制器确保在整个处理过程中保持所需的温度。真空卡盘可用于在抛光和研磨操作过程中将晶片牢固地固定到位。力计用于监测施加在晶片上的向下压力，确保在整个操作过程中具有一致的抛光力。最后，集成计时模型提供精确的启动/停止间隔，允许精确的抛光操作。总体而言，IPEC Avanti 472是一种综合性的自动化晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于半导体晶圆制造应用。该系统提供精确、可重复和高效的抛光操作，是半导体和微电子工业的理想选择。