二手 JEOL EM 09100 IS #9380743 待售

JEOL EM 09100 IS是一种多功能设备，设计用于执行晶圆研磨、研磨和抛光操作。该系统安装在立式机柜中,但也可与客户提供的通风机或真空/气体机柜集成。该单元包括三个独立的组件：研磨、研磨和抛光阶段.机器的研磨阶段用于晶圆材料的粗加工，为抛光过程做好准备。为此，该刀具采用了由高精度步进电机驱动的永磁卡盘。然后将磨轮放置在工作台表面上方,并由单独的高扭矩直流电动机驱动。该车轮由氧化铝磨料制成，以确保切削和抛光速率一致。研磨阶段用于磨碎晶片材料后对其表面进行精炼。在这一过程中，使用浆料分发器用抛光溶液将材料表面弄湿，这将起到润滑剂的作用，使表面光滑和抛光。研磨台由一个旋转压板、一个固定压板和两个磨盘组成。晶片材料被放置在旋转和固定板之间，而浆液被分配到材料的表面。这种研磨过程有助于减少晶圆材料表面上残留的粗糙，使其更加平滑和一致。抛光阶段是资产晶圆加工过程的最后一步，用于生产具有微量精加工的表面。在这个过程中，使用了金刚石涂层的垫子在晶圆材料上赋予非常精确的光洁度。浆液溶液不断地应用于表面，以确保一致的抛光。产生的表面在光学上是平坦的,没有划痕或其他缺陷。总体而言,EM 09100 IS是一种先进的型号,它将晶圆加工的三个阶段-研磨、研磨和抛光-集中在一个落地柜中。除了精密的材料加工外，设备还提供各种附加功能，如自动浆料分发器和精密步进电机控制。该系统非常适合在晶圆研磨、研磨和抛光方面实现可重复、精确和高质量的结果。