二手 JEOL SM-09010 #293638040 待售

JEOL SM-09010是一种晶片研磨、研磨和抛光设备，设计用于在晶片上产生光滑、高质量的表面。该系统采用精密主轴设计，为研磨和抛光应用提供了卓越的精度和表面光洁度。该装置利用电机驱动的主轴机对磨削和抛光工艺提供高度的控制和自动化。该工具能够磨碎厚度超过1 µm的材料层,平均可产生0.3-0.7 µm RMS的晶圆表面粗糙度。主轴配有控制资产，方便晶圆的精确定位，优化研磨、研磨、抛光工艺。主轴还具有压力传感器模型，以确保达到最佳表面光洁度。主轴由无刷马达驱动，能够安静的操作和卓越的重复性和精确度。设备对每个工艺使用两个不同的磨盘。一种用于研磨和研磨，另一种用于抛光。每个圆盘的设计都能产生一致的高表面光洁度，对底层基板的损害最小。光盘采用阶梯式设计,在磨削和抛光过程中实现均匀性。该系统还包括一个真空拾取穿梭机，用于在研磨、研磨和抛光工艺前后自动转移晶圆。真空穿梭机还能够拾取各种晶片类型，包括圆形、矩形和"开槽芯片形式"晶片。该机组另外配有液体冷却机，以防止热诱发缺陷的形成。总体而言,JEOL SM 09010提供了一种强大、可靠、精确的研磨、研磨和抛光工具,用于生产高质量的晶片。由于它的自动化能力和高精度主轴，它能够一致地生产出优越的表面饰面，对基板的损害最小。