二手 JEOL SM-09010 #9055560 待售

JEOL SM-09010是一种自动晶片研磨、研磨和抛光设备，设计用于将厚膜电路从洁净室带到后端包装装配过程。该系统提供高通量、低颗粒污染、精密厚度和表面平面度的控制，以实现最佳制造。JEOL SM 09010包括一个晶片卡盘，用于安全可靠的基板处理，并包括一系列研磨和抛光步骤，以达到所需的表面光洁度。晶片卡盘的安全固定和隔离系统能够处理单个或多个薄或厚基板。根据所选择的配置,保持和隔离系统可能因手动和自动化而异。对于多芯片模块，卡盘提供了一种优化的夹紧压力，可调以满足应用要求。SM-09010包括一个集成的金刚石砂轮，用于整个晶圆旋转过程中的精磨。这样可以确保一致的表面纹理。砂轮还保证了较低的研磨压力，防止刮擦。该单元还配备了一个研磨板，允许在该过程的研磨阶段进行平整和厚度控制。研磨板由专有涂层制成，可提高效率并减少打滑。抛光阶段是机器真正闪耀的地方。它使用执行器驱动的金刚石聚集垫来达到均匀的表面地形水平。这个垫子还设计用来减少压力,同时防止毛刺的形成.在此阶段可以达到低于3nm的RMS值。此外，SM 09010的抛光阶段具有惰性气体净化，以及先进的温度控制。这有助于确保一致的结果，并减少灰尘颗粒和其他污染物的发生，这些污染物可能会阻止清洁标准得到满足。最后,JEOL SM-09010提供了一个信息显示工具,可提供有关过程参数、结果和其他信息的连续实时反馈。资产还可以为每个过程周期生成全面的报告,从而能够对质量数据进行深入分析,以实现最佳的产品纯度和性能。总体而言,JEOL SM 09010晶圆研磨、研磨和抛光模型是满足洁净室制造标准的完整和自动化基板加工的理想选择。它具有安全、可定制的固定系统、精密研磨和抛光阶段以及信息显示和分析功能,是生产高质量薄膜电路的理想解决方桉。