二手 KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L #293638088 待售

KAO-YU精密机械KYL-9B-5L晶圆研磨、研磨、抛光等设备，设计用于各种应用的精确成型和精加工元件。该系统利用研磨、研磨和抛光技术的组合，加工硅和复合半导体晶片、扁平元件和陶瓷基板。KYL-9B-5L专为双面处理而设计,具有自动化的现场工具监控功能。KAO-YU精密机械KYL-9B-5L采用PLC控制的主驱动电机，可精确控制晶圆的角位移和速度。该单元还配备了高精度的上下往复运动线性滑动单元，使磨头能够有效、准确地穿越晶圆的全长。KYL-9B-5L还包括一个用于精确终端效应器定位和负载处理的伺服驱动平台,可实现精确的功率/扭矩控制。此外,该机采用旋转金刚石磨料砂轮进行精密晶圆研磨.磨头还具有电动晶片旋转机构，提供晶片旋转角度和速度的精确控制。KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L还包括定制的变频器和PLC，以确保最佳的研磨、研磨和抛光性能。KYL-9B-5L研磨站配备了先进的伺服驱动台式工具，可确保研磨板的精确可重复运动。这种精确的运动也保证了研磨板均匀接触晶片表面。KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L抛光站采用精确的直线滑动资产，运动范围为180°，抛光性能最好。KYL-9B-5L是根据客户的精确要求设计的，提供了极致的多功能性和灵活性。KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L不仅具有高达160,000rpm的主轴速度,而且具有广泛的工艺参数,可根据任何特定应用的要求进行调整。在整个过程中和整个过程中,自动化的现场监测和控制还确保了一致的质量控制。此外，KYL-9B-5L还为后处理提供了若干选择，包括电子束光刻、蚀刻和化学机械平面化（CMP）。除了这些后处理选项之外，KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L还包括一系列数据采集和评估软件，允许与现有的过程控制系统轻松集成。总体而言，KYL-9B-5L晶圆研磨、研磨和抛光模型是一种先进而精确的工具，能够在广泛的应用中生产出质量最高的成品。KAO-YU PRECISION MACHINERY凭借其先进的伺服驱动运动、精确的线性滑动设备和可定制的工艺参数,KYL-9B-5L确保了最佳性能和一致的结果,无论是用于研究、工业还是计量。