二手 KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L #9266482 待售

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ID: 9266482
晶圆大小: 8"
Double sided lapper / Polisher, 8" With slurry tank with motor For circulating slurry and pump for dispensing slurry Power supply: 415 VAC, 3 Phase.
KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L是一种自动化晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于生产尽可能具有最高均匀性和可重复性的精密表面。该系统采用磨料研磨、研磨和抛光工艺相结合,以达到理想的效果。KAO-YU KYL-9B-5L单元由模块化设计组成,可配置真空卡盘、可旋转磨头和磨头,以提高生产能力。该机以其高精度的线性和旋转运动能力而进一步区分,允许根据需要对晶片基板进行可靠、准确的定位和运动。此外,KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L还配备了多种安全功能,如互锁阵列和紧急停止电路,以确保操作员的安全和符合适用的健康和安全规定。该工具还配备了一个计算机化的运动控制单元(MCU),用于对磨削和抛光过程进行高级控制。此MCU具有高级运动轮廓导航和编辑软件,可实现复杂的运动轮廓,最终公差低至千分之二英寸(0.002英寸)。KAO-YU KYL-9B-5L利用了高度精确的数字压力调节资产,可以微调研磨过程。这样可以确保晶片表面的最佳基板性能和稳定的结石、凹槽和其它异常的一致去除,而晶片基板的应力最小。KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L模型采用光学激光和高分辨率成像摄像机的集成光学设备,便于在抛光前后测量和验证基板表面轮廓。此外,系统还能在磨头接合时自动控制进料速率。这样可以确保研磨过程的均匀性,并消除晶圆表面上任何先前存在的异常。总体而言,KYL-9B-5L是一个高度先进的晶圆研磨、研磨和抛光装置,能够提供精确的表面,具有卓越的可重复性和可靠性。它结合了自动化过程控制、精密机械运动控制和光学测量,使KAO-YU精密机械KYL-9B-5L各种晶圆研磨、研磨、抛光应用的理想机器。
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