二手 KARSTENS K62 #9066959 待售

KARSTENS K62是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，用于加工晶圆、基板和半导体工业中的其他组件。它是一个高度自动化、高精度的加工系统,可实现0.2 nm Ra的表面光洁度。它有一个集成的机器人处理单元,可帮助自动化工作负载,使其能够快速高效地处理各种材料。机器由机器和机械手两部分组成，安装在单个平台上，以提高刚度和精度。该机由PLC控制，由主轴和抛光台两部分组成。主轴配有高精度编码器，用于精确定位和运行研磨过程。抛光台由多个带凹槽的布圈组成，并以恒定的速度旋转以实现均匀抛光。它利用真空工具在加工过程中将晶片固定到位。机械手是一种计算机控制的机械臂，用于为加工过程拾取和放置零件。它由一个6轴铰接臂，以及一个可以检测晶圆位置和方向的集成视觉资产组成。此模型允许对组件进行极其精确的高速处理,并消除与手动流程相关的任何人为错误。K62旨在与客户的现有系统完全集成,并提供多种功能以确保高效和准确的流程。这些功能包括数字化流程监控设备、高级流程控制系统和在线流程控制软件。该单元提供最高级别的自动化、精确度和可靠性,使其用户能够产生高度准确和一致的结果。