二手 KEMET 36 #293653015 待售
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ID: 293653015
Diamond lapping machine
Diameter: 900 mm
(3) Rings
Water based diamond slurry dispenser
Oil based slurry dispenser
Lapping plate.
KEMET 36是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,为希望在IC晶圆上生产高精度表面的制造商设计。该系统能够生产出当今市场上最好的晶圆饰面。36单元包括一个机械研磨和抛光阶段,利用金刚石砂砾达到所需的精加工,然后是一个化学机械抛光阶段,进一步提高表面的精加工。机械级使用振动台搅拌晶片并去除任何粗糙度。然后,金刚石砂轮将基板的整个表面磨削到所需的厚度和精度。化学机械抛光阶段利用旋转木马将晶片浸入经过化学处理的悬浮介质中,从而去除额外的离子、气体和颗粒。KEMET 36还具有动态振动控制、强大的进压和空气过滤系统以及高速皮带机。动态振动控制确保不会出现明显的表面不规则性,而强大的压力馈送和空气过滤系统则确保了清洁、晶莹剔透的结果。为了进一步提高精度,高速皮带工具将晶片的表面精确磨削到要求的厚度或精度。36晶圆研磨、研磨和抛光资产在价格合理的情况下提供了卓越的精度、灵活性和可靠性。它是为半导体、MEMS和新兴市场生产高精度晶片的理想选择。这种晶圆研磨、研磨和抛光模型是制造商在当今竞争环境中争取成功的宝贵投资。
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