二手 KENT KGS-250AHD #170051 待售
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KENT KGS-250AHD是一种精密晶圆研磨、研磨和抛光机,设计用于半导体行业的高度精确操作。它提供250 mm × 250 mm的大工作表面,表格速率为0.5m/min,能够处理各种尺寸的材料。该设备提供了一个自动化的负载和卸载与精确研磨高表面光洁度。通过精确的三轴运动,主轴被设计成提供精确的同心度控制。系统由三相交流电动机提供动力,转速范围为200至1200 RPM,使其既能处理大小晶片,又能高精度。KGS-250AHD利用集成的压力和位置控制单元来确保高精度的制造,并最大限度地减少变化和不需要的移动。研磨、研磨和抛光工艺是通过以0.1至100毫米/分钟的速度和0.01mm/轴的精度自动位移实现的。该机能够进行各种研磨、研磨和抛光操作,主轴范围为0.02至3.2mm。通过使用两个可用的钻石研磨盘和各种研磨膜,这个工具提供了高度的灵活性,以适应各种材料。KENT KGS-250AHD配备了数字触摸面板,使用户能够自定义流程参数并监控资产诊断。其他工具包括金刚石手部抛光刷、卡盘、磨杯和样品固定夹具。该模型设计用于有效的尘埃、空气传播粒子和流体抑制,通过尘埃收集系统和空气/水雾收集器的组合。密封设计还消除了环境粉尘污染。KGS-250AHD非常适合处理晶圆研磨、研磨和抛光操作。具有250 mm × 250 mm的工作表面,允许处理高精度的大小晶片。综合压力和位置控制确保精确的结果与最小化的变化。全方位的配件、数字触摸面板、高效的除尘系统,使本机成为各种晶圆处理操作的可靠选择。
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